초고진공 자성유체 씰 피드스루 (Feedthrough)
Vacuum Feedthrough for Rotating Shafts
자성유체 기반 초정밀 회전 구동 씰링
고진공을 유지하면서 회전 동작을 챔버 안으로 전달해야 하는 반도체, 디스플레이 등 첨단 장비에 필수적인 핵심 부품입니다.
- 축 형태 (Shaft Types): 중공축(Hollow Shaft), 실축(Solid Shaft) 맞춤형 제공.
- 플랜지 및 마운트 (Mounting): KF Flange, ISO Flange, CF Flange, Thread Mount 등 전 규격 지원.
- 성능 스펙: 극저 누설률 (Leak Rate < 1.0 x 10⁻⁹ std.cc/sec) 달성 및 고속 회전에도 안정적인 씰링.
[ 규격표 및 치수 상세 ]
